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MEMS在惯性测量中的应用

Application of MEMS in inertial measurement

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【作者】 李志信； 罗小兵； 过增元；

【Author】 LI Zhi-xin, LUO Xiao-bing, GUO Zeng-yuan (Dept. of Engin. Mechanics, Tsinghua University, Beijing 100084, China)

【机构】 清华大学工程力学系!北京100084；

【摘要】 对MEMS在惯性测量中的应用状况进行了总结 ,介绍了加速度计和陀螺仪的基本工作原理和商业化情况 ,提出了我国发展微机械惯性传感器的一些发展思路

【Abstract】 Application status of MEMS in inertial measurement is summarized, the basic principles of accelerometers and gyroscopes and their commercialization situation are briefly introduced, some ideas about development of micromachined inertial sensor in China are presented.

【关键词】 微电子机械系统； 惯性测量； 微加工加速度计； 陀螺仪；
【Key words】 micro electro-machenical systerm(MEMS)； inertial measurement； micromachined accelerometer； gyroscope；
【基金】 国家自然科学基金重大项目资助 (5 9995 5 5 0 -2)
  • 【文献出处】 传感器技术 ,Journal of Transducer Technology , 编辑部邮箱 ,2001年07期
  • 【分类号】TP212
  • 【被引频次】27
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