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SiGe材料及其在半导体器件中的应用

SiGe material and its applications on semiconductor devices

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【作者】 朱泳； 刘艳红； 魏希文； 沈光地； 陈建新； 邹德恕；

【Author】 ZHU Yong; LIU Yan-hong; WEI Xi-wen; SHEN Guang-di; CHEN Jian-xin; ZOU De-shu (Physics Dept. of Dalian Unly. of Technology, Dalian 116023, China; Electronic Engineering Dept. of Beijing Polytechnic Univ, Beijing 100022, China)

【机构】 大连理工大学物理系!辽宁大连116023； 北京工业大学电子系!北京100022；

【摘要】 介绍了ＳｉＧｅ材料的发展历史、特性、制备方法及其在半导体器件中的应用。

【Abstract】 The historical background, characteristics and growth methods of the SiGe material are presented in this paper. The applications on semiconductor devices are also shown.

【关键词】 SiGe材料； 异质结双极晶体管； Si1-xGex合金；
【Key words】 SiGe material； HBT； Si1-xGex.alloy；
  • 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,2001年08期
  • 【分类号】TN304.24
  • 【被引频次】11
  • 【下载频次】396
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