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硅基微机械微波传输线的制备与特性分析

Fabrication and characteristic of Si-micromachined transmission line

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【作者】 石艳玲； 杨震； 赖宗声；

【Author】 SHI Yan-ling; YANG Zhen; LAI Zong-sheng (Department of Electronic Science and Technology, East China Normal University, Shanghai 200062, China)

【机构】 华东师范大学电子科学技术系!上海200062；

【摘要】 介绍了三种硅基微机械微波传输线：矩形波导、Ｖ型槽及Ｗ型槽共平面波导，及其三种传输线的制备工艺流程。分析认为，制备方法不同，导致传输线结构、特性阻抗、插入损耗等特性亦不同。

【Abstract】 Three kinds of implementation of Si-micromachined transmission line are described in this paper, such as rectangular waveguide,V-typed FGC and W-typed FGC. With different fabricating process, each transmission line has different structure, and the insertion loss and operating frequency range are also different.

【关键词】 微机械工艺技术； 矩形波导； 共平面波导； 插入损耗；
【Key words】 micromachined technology； rectangular waveguide； coplanar waveguide； insertion loss；
【基金】 国家自然科学基金（69876012）;高等学校博士点专项科研基金（510．3030）;上海应用材料研究与发展基金项目（980
  • 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,2001年04期
  • 【分类号】TN405
  • 【被引频次】3
  • 【下载频次】69
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