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复杂结构的大容器氦质谱检漏技术

HELIUM SPECTRUM LEAK DETECTING TECHNOLOGY FOR LARGE CHAMBER WITH COMPLEX CONSTRUCTION

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【作者】 梁凯基； 张远青； 蔡东锋； 戴晋福；

【Author】 LIANG Kai ji,ZHANG Yuan qing,CAI Dong feng,DAI Jin fu(Guangdong Vacuum Equipment Factory Co.,Zhaoqing 526020,China)

【机构】 广东真空设备厂股份有限公司!广东肇庆526020；

【摘要】 叙述了复杂结构的大型真空容器氦质谱检漏应用技术 ,分析了其中存在的问题。提出应设置合适的检漏系统、适当降低检漏速度及对复杂部位进行局部检漏等方法

【Abstract】 The helium mass spectrometer leak detecting technology for a large vacuum chamber with the complex construction is described.Some problems in operation are shown and analyzed.And solving methods are given to install suitable detecting systems and decelerate the detecting move and detect complex parts carefully.

【关键词】 氦质谱仪； 检漏； 真空； 大容器；
【Key words】 helium mass spectrometer； leak detection； vacuum； large chamber；
  • 【文献出处】 真空与低温 ,VACUUM AND CRYOGENICS , 编辑部邮箱 ,2000年02期
  • 【分类号】TB77
  • 【被引频次】11
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