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场发射压力传感器力敏感膜的形变特性分析

A Study on Deformation Characteristics of the Sensing Film of Field Emission Pressure Sensors

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【作者】 刘金华； 杨军； 张敬平； 林鸿溢；

【Author】 LIU Jin-hua,YANG Jun,ZHANG Jing-ping,LIN Hong-yi (Institute of Semiconductors, Shandong Normal University, Jinan. Shandong; Dept. Applied Mechanics. Beijing Institute of Technology, Beijing, 100081. P. R. China: Dept. Electronic Engineering, Beijing In

【机构】 山东师范大学半导体所!山东济南； 北京理工大学应用力学系!北京100081； 北京理工大学电子工程系!北京100081；

【摘要】 利用有限元法计算分析了以阴极尖锥阵列体作为力敏感膜的形变特性，给出了用表达式计算尖锥阵列体形变的修正值，为后继工作提供了可以选择的技术途径。

【Abstract】 Deformation characteristics of the field-emission array as pressure sensing film of the sensor has been investigated using the finite element analysis(FEA)method. The revised factor,which is used to calculate the deformation of the field-emission array .is obtained. The result provides useful information for future works.

【关键词】 场发射； 压力传感器； 力敏感膜； 形变； 有限元法；
【Key words】 Field emission； Pressure sensor； Pressure sensing film； Deformation； Finite element analys?；
  • 【文献出处】 微电子学 ,Microelectronics , 编辑部邮箱 ,2000年04期
  • 【分类号】TP212
  • 【被引频次】1
  • 【下载频次】34
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