【作者】 张静媛； 刘国利； 汪孝杰； 张佰君； 陈娓兮； 朱洪亮； 王圩；
【机构】 中国科学院半导体研究所光电子国家工艺中心!北京100083； 中国科学院半导体研究所光电子国家工艺中心!北京10；
