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多弧离子镀膜机Bulat-6的技术特性

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【作者】胡社军；谢光荣；曾鹏；黄拿灿；吴起白；颜钟得；

【机构】广东工业大学材料与能源学院!广东广州510643；

【关键词】多弧离子镀； Bulat-6；技术特性；冷阴极离子源；模具表面；电磁线圈；显微硬度；负偏压；抗高温氧化性；离子束增强沉积；

【基金】广东省高教厅重点项目 !( 970 0 32 )

【文献出处】金属热处理 ,HEAT TREATMENT OF METALS , 编辑部邮箱 ,2000年11期
【分类号】TG15
【被引频次】10
【下载频次】128

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