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Sol-Gel法制备SnO2纳米晶薄膜

Preparation of Nanocrystalline SnO2 thin Film by Sol-Gel Method

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【作者】 向思清； 索辉； 阮圣平； 朱玉梅； 刘冰冰； 全宝富； 徐宝琨；

【Author】 XIANG Siqing,SUO Hui,RUAN Shengping,ZHU Yumei,LUI Bingbing,QUAN Baofu,XU Baokun (Department of Electronic Engineering,Jiling University,Changchun,130023,China)

【机构】 吉林大学电子工程系!吉林长春130023；

【摘要】 以Sn(OH) 4 水合胶体为原料 ,采用简单的旋转涂覆与烧结工艺在Si片上成功制备出了表面形貌平整、光亮的SnO2 纳米晶薄膜 ,为该种材料制作实用的气敏元件打下了很好的基础。

【Abstract】 Nanocrystalline SnO 2 thin films were successfully prepared on Si substrate by sol-gel technique based on Sn(OH) 4 colloid.AFM plots show that their morphologies are flat and bright.The work make it possible to prepare practical gas sensor made of this material.

【关键词】 Sol-gel法； Sn（OH）4水合胶体； 纳米晶薄膜； SnO2；
【Key words】 sol-gel method； Sn(OH) 4 colloid； nanocrystalline thin film； SnO 2；
【基金】 国家自然科学基金!资助项目 ( 69774 0 2 7)
  • 【文献出处】 功能材料 ,JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS , 编辑部邮箱 ,2000年S1期
  • 【分类号】TN304
  • 【被引频次】14
  • 【下载频次】157
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