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中国学术期刊网络出版总库
节点文献
微通道热沉标准单元制作的SEM观察
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【作者】
王晓华
;
张宝顺
;
王玉霞
;
任大翠
;
张兴德
;
【机构】
长春光学精密机械学院高功率半导体激光国家重点实验室!长春130022
;
长春光?
;
【关键词】
微通道
;
SEM观察
;
标准单元
;
热沉
;
平均功率
;
热阻值
;
转换效率
;
峰值功率
;
光刻胶
;
通孔
;
【文献出处】
电子显微学报
,
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
,
编辑部邮箱
,
2000年04期
【分类号】TN248
【下载频次】69
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