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TDR-Y60A型氧化物单晶炉的研制

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【作者】 董淑梅； 梁秀梅； 赵逸谦； 高利强；

【机构】 西安理工大学!陕西西安710048；

【摘要】 简要介绍TDR -Y6 0A型氧化物单晶炉的设计思路 ,传动原理及结构设计。

【关键词】 单晶炉； 氧化物晶体； 谐波； 结构；
  • 【文献出处】 电子工业专用设备 ,EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING , 编辑部邮箱 ,2000年02期
  • 【分类号】TF806.9
  • 【被引频次】6
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