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TiN薄膜的多元合金化强化

Improvement on Properties of TiN Film by Multi-components Methods

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【作者】 谢致薇； 王国庆； 蒙继龙； 陈海燕；

【Author】 XIE Zhi\|wei\+1, WANG Guo\|qing\+2, MENG Ji\|long\+1, CHEN Hai\|yan\+2 (1\^South China University of Technoly,Guangzhou\ 510040,China; 2\^Guangdong University of Technology,Guangzhou\ 510090,China)

【机构】 华南理工大学机械电子工程系!广东广州510040； 广东工业大学材料科学与工程系!广东广州510090；

【摘要】 多元合金化是强化 Ti N膜的有效途径之一 ,也是目前研究的热点。本文介绍了几种多元氮化物薄膜的沉积技术及性能特点 ,重点分析了性能对工艺的依赖关系。

【Abstract】 Multi\|component elements alloying is one of the methods for improving the properties of TiN film,which has been researched widespreadly.Deposition processes and properties of various multi\|components films are reviewed in this paper.The relation between properties and deposition parameters is also discussed.\;

【关键词】 多元合金化； 离子镀； 多元膜；
【Key words】 multi\|component alloying； ion plating； multi\|component films；
  • 【文献出处】 材料科学与工程 ,Materials Science and Engineering , 编辑部邮箱 ,2000年04期
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