节点文献

ZnO薄膜的晶体性能的分析

Crystal Characterization of Zinc Oxide Thin Film

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 李剑光； 汪雷； 叶志镇； 赵炳辉； 袁骏；

【Author】 Li Jianguang,Wang Lei,Ye Zhizhen,Zhao Binhui,Yuan Jun(The State Key Lab.of Silicon Material,Zhejiang University,Hangzhou,310027)

【机构】 浙江大学硅材料国家重点实验室!杭州310027；

【摘要】 在硅基上制备出了c轴取向高度一致的ZnO薄膜 ,这将有可能成为新型GaN单晶薄膜的过渡层。对ZnO薄膜的晶体性能进行了分析 ,研究不同衬底和不同衬底温度对ZnO薄膜的结晶状况的影响 ,并着重用TEM研究了硅基ZnO薄膜的晶体性能。

【Abstract】 Highly c axis oriented zinc oxide thin film was grown on Si substrates by magnetron sputtering.The films can possibly be used as an effective buffer layer in GaN film growth.The crystal structures of the ZnO films were studied with transmission electron microscopy and the influence of substrate temperatures and the properties of different substrates were also studied to optimize the growth of quality ZnO films.

【关键词】 ZnO； 晶体； 性能； 过渡层；
【Key words】 ZnO； Crystal； Property； Buffer layer；
【基金】 国家博士点基金
  • 【文献出处】 真空科学与技术 , 编辑部邮箱 ,1999年05期
  • 【分类号】O484
  • 【被引频次】10
  • 【下载频次】152
打印本页
节点文献中：