【作者】 张静媛； 刘国利； 朱洪亮； 汪孝杰； 王圩； 周帆； 马朝华； 李秉承； 田慧良； 边静； 舒惠云；
【机构】 中国科学院半导体所光电子国家工艺中心!北京１０００８３； 中国科学院半导体所光电子国家工艺中心!北；
