【作者】 路敦武； 黄惠杰；
【机构】 中国科学院上海光学精密机械研究所!上海； 201800；
【摘要】 激光技术已广泛应用于微电子领域大规模集成电路生产的各个环节。本文以激光全息光刻、激光全息掩模和激光干涉成像光刻为切入点，对激光全息用于微电子领域的潜力作一分析。更多还原
