【作者】 陈克金； 邵凯；
【机构】 南京电子器件研究所；
【摘要】 微电子技术新领域陈克金，邵凯（南京电子器件研究所，南京，２１００１６）（一）微电子机械系统１引言微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的技术目标是把微机械和集成电路融为一体，将电子系统与外部世界联系起来。它不仅可以感受运动、光、声、热、磁等自然界的外部信号，将这...更多还原
