【摘要】 以微波激励氙（Ｘｅ） 发射的真空紫外光（ＶＵＶ） 作光源，乙炔（Ｃ２Ｈ２） 作反应气体，采用直接光化学汽相淀积（ＣＶＤ） 工艺，在硅（Ｓｉ） 、钼（ Ｍｏ） 及玻璃衬底上，１２０ ℃的低温下进行了类金刚石碳（ＤＬＣ） 膜的试生长。用Ｘ 射线光电子能谱（ＸＰＳ） 、扫描电子显微镜（ＳＥＭ） 等手段进行了初期成膜结构的测试分析。测试结果表明，在所有三种衬底上均能淀积生成ＤＬＣ 膜。其中Ｃ１ｓ 态原子的含量在６９ ．９８ ％ ～７４ ．６０ ％ 之间，相应的键合能为２８５ ．０ ～２８５ ．６ ｅＶ。淀积膜是以ＳＰ２ 键结构为主的ＤＬＣ膜。实验结果也表明，氧在成膜过程中是影响最大的因素。更多还原

【Abstract】 In this paper,we report the result of diamond like carbon films grown at comparatively low substrate temperature(120 ℃) on Si, Mo and glass substrates by direct photo chemical vapor deposition (CVD) technique.In the process,a microwave excited vacuum ultraviolet(VUV) Xe lamp is used as the light source and the mixture of C 2H 2 and Ar is used as reactive gases.X-ray photoelectron spectroscope (XPS) and scanning electron microscope (SEM) are used to study the growth process of primary DLC films.Their carbon atom content is from 69.98% to 74.60% with the binding energy of 285.0 eV to 285.6 eV. Our result is also shown that oxygen is the most important element affcting DLC film growth.更多还原