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离子束辅助沉积设备的研制

Development of the Equipment for Ion Beam Assisted Deposition

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【作者】 林美娟； 朱启良；

【Author】 Lin Meijuan, Zhu Qiliang (Beijing Research Institute of Automation for Machinery Industry)

【机构】 机械工业部北京机械工业自动化研究所；

【摘要】 本文介绍了离子束辅助沉积设备的结构、工作原理、设备性能以及工艺试验初步。

【Abstract】 Abstract In this paper, the principle, structure and characteristics of the equipment for ion beam assisted deposition are introduced, the original experiments are given.

【关键词】 离子束辅助沉积； 设备； 原理； 试验；
  • 【文献出处】 真空 ,VACUUM , 编辑部邮箱 ,1998年06期
  • 【分类号】TL503.3
  • 【被引频次】8
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