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高反射率Ag5In5Te47Sb33相变薄膜热致晶化的微观结构和光学性质的变化

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【作者】 刘惠勇； 姜复松； 门丽秋； 范正修； 干福熹；

【机构】 中国科学院上海光学精密机械研究所!上海201800；

【摘要】 对磁控射频溅射法制备的Ag5 In5 Te47Sb3 3 相变薄膜热致晶化的微观结构和光学性质的变化进行了研究 .沉积态薄膜为非晶态 ,其晶化温度为 1 6 0℃ .晶态薄膜中产生了立方晶态相AgInTe2 和AgSbTe2 及单质Sb ,2 2 0℃退火薄膜中AgSbTe2 相含量最大 .晶态薄膜的反射率高于沉积态 ,并且 2 2 0℃退火的晶态薄膜反射率最大 .2 2 0℃退火薄膜为直径约 30nm的球状AgSbTe2 相和短棒状Sb相 .

【关键词】 磁控溅射； Ag5In5Te47Sb33相变薄膜； CD_E系统； 热致相变； 光学性质；
  • 【文献出处】 科学通报 , 编辑部邮箱 ,1998年16期
  • 【分类号】O484
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