【作者】 汤文骏； 段敏谟； 张玉坤； 方仲彦；
【机构】 清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室；
【摘要】 随着对产品加工和测量准确度的要求越来越高，利用误差修正技术实现低成本精度升级的方法已成为一个非常重要的研究领域。本文介绍了误差修正技术的特点、内容以及最新的发展情况。更多还原
