【作者】 王正安; 李胜利; 金泰义;
【机构】 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系;
【摘要】 本文设计了一种新型全息光学测头,这种测头通过新型全息光学元件(NHOE),将被测表面的两个测点的信息综合在一个接收器上,利用自补偿原理,消除了被测表面相对光轴倾斜对测量结果的影响。更多还原