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硅微振动轮式陀螺仪的研究

Research of Silicon Vibrating Wheel Micromechanical Gyro

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【作者】 罗晓章； 张燕娥； 吴本寿； 周百令；

【Author】 Luo Xiaozhang Zhang Yan’e Wu Benshou Zhou Bailing (Department of Instrument Science & Engineering, Southeast University, Nanjing 210096)

【机构】 东南大学仪器科学与工程系；

【摘要】 论述了硅微振动轮式陀螺仪的结构组成，分析了其动态过程，探讨了提高其灵敏度的途径以及影响其精度的误差来源，最后给出了测试电路和制作工艺．

【Abstract】 The structural components of the silicon vibrating wheel micromechanical gyroare described. The dynamic process of this gyro is analyzed, the method of improving its sensitivity and decreasing the manufacture errors is discussed. The fabrication processes and test results are given.

【关键词】 振动轮式陀螺仪； 微型惯性器件； 误差； 灵敏度；
【Key words】 vibrating wheel micromechanical gyro； miniature inertial instrument； error； sensitivity；
【基金】 国防科技预研基金
  • 【文献出处】 东南大学学报 ,Journal of Southeast University , 编辑部邮箱 ,1998年06期
  • 【分类号】U666.123
  • 【被引频次】7
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