【作者】 张果虎； 常青； 方锋； 吴志强； 郝玉清； 秦福；
【机构】 北京有色金属研究总院；
【摘要】 Φ１２５ｍｍ硅单晶的控氧技术张果虎常青方锋吴志强郝玉清秦福（北京有色金属研究总院，北京１０００８８）关键词：硅单晶氧含量控氧技术坩埚结构１引言为满足不同的器件对硅片氧含量的不同要求，需要更精确地控制直拉硅单晶中的氧含量及氧梯度。单晶中的氧有两方面的作...更多还原
