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底膜的孔径大小对γ-Al2O3复合膜的顶膜完整性的影响
【摘要】 考察了氮气、氢气、氦气、丙烷、氩气等5种气体对两种不同孔径大小的底膜的渗透性能,实验结果表明气体主要以粘性流机制通过底膜的。使用溶胶-凝胶技术在两种底膜上制备了γ-Al2O3复合膜,用气体渗透的方法检验了底膜上γ-Al2O3顶膜的完整性,并探讨了底膜的孔径大小对顶膜完整性的影响.在孔径较小的底膜Y上,经过两次浸涂,能形成完整的顶膜,气体主要是以努森扩散机理通过该顶膜.
【关键词】 溶胶-凝胶技术;
粘性流;
努森扩散;
γ-Al2O3复合膜;
完整性;
【基金】 国家自然科学基金
- 【文献出处】 自然科学进展 , 编辑部邮箱 ,1997年03期
- 【分类号】TB43
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