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高分辨率位移测量系统的研究

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【作者】 卢启柱； 王廷云； 刘剑鸣； 郑绳楦；

【机构】 燕山大学；

【关键词】 位移测量系统； 高分辨率； 干涉仪测量； 参考光束； 幅度噪声； 光学谐振腔； 光纤端面； 光强调制； 位移传感器； 传感头；
【基金】 国家自然科学基金
  • 【文献出处】 自动化与仪器仪表 ,AUTOMATION AND INSTRUMENTATION , 编辑部邮箱 ,1997年06期
  • 【分类号】TP273
  • 【被引频次】2
  • 【下载频次】52
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