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X射线显微术与纳米探测

X Ray Microscopy and Nanometre Measurement

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【作者】 曹芒； 李达成； 梁嵘； 赵洋； 王佳；

【Author】 Cao Mang\ Li Dacheng\ Liang Rong\ Zhao Yang\ Wang Jia (State Key Laboratory of Precision Measurement Technology and Instruments, Department of Precision Instrument,Tsinghua University,Beijing 100084)

【机构】 清华大学精密仪器系；

【摘要】 本文介绍了Ｘ射线显微术、Ｘ射线激光全息及用晶体晶格作为长度标准的Ｘ射线干涉测量术在纳米探测中的应用

【Abstract】 The X ray microscopy,X ray laser holography and X ray interferometry by using crystal lattice constant as length standard are introduced.

【关键词】 显微术； 干涉测量术； 波带片； 晶格结构； 激光光源； 三维图像； 激光全息； 原子尺度； 探测器技术； 硅晶片；
  • 【文献出处】 现代计量测试 ,MODERN MEASUREMENT AND TEST , 编辑部邮箱 ,1997年01期
  • 【分类号】TL84
  • 【被引频次】1
  • 【下载频次】45
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