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微三维机械加工的最新技术──LIGA技术

LIGA Technique for Microstructure Fabrication

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【作者】 揭景耀；

【Author】 Jie Jing Yao (East China Jiaotong University,Nanchang 330013)

【机构】 华东交通大学；

【摘要】 较详细地介绍了ＬＩＧＡ技术，总结其特点，并展望了其应用前景

【Abstract】 This paper introduces the LIGA technique in detail and summarizes its characteristics,and then looks forward to the future of its application.

【关键词】 LIGA技术； 微机械加工； X射线光刻；
【Key words】 LIGA Technique Microfabrication X ray lithography mask；
  • 【文献出处】 机械科学与技术 ,MECHANICAL SCIENCE AND TECHNOLOGY , 编辑部邮箱 ,1997年05期
  • 【分类号】TH16
  • 【被引频次】16
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