【作者】 张树高； 黄伯云； 方勋华；
【机构】 中南工业大学粉末冶金研究所； 粉末冶金国家重点实验室； 粉末冶金国家重点实验室 长沙； 410083； 长沙； 410083；
【摘要】 本文综述了ITO薄膜的应用领域和制备工艺。ITO薄膜主要用于光电器件中,例如用于液晶显示(LCD)。制造ITO薄膜的工艺方法很多,本文综述了磁控溅射法、CVD法、喷雾热分解法和溶胶—凝胶法4种制膜工艺。更多还原
