【作者】 陈坚邦; 王云春;
【机构】 北京有色金属研究总院;
【摘要】 利用扫描透射电子显微镜、X射线衍射和X射线光电子能谱检测了锑化镓晶片表面氧化层的成分和结构,研究了锑化镓材料表面氧化物的形成过程。更多还原