【作者】 田扬超； 傅绍军； 洪义磷； 胡一贯；
【机构】 中国科学技术大学国家同步辐射实验室；
【摘要】 本文介绍了用ＬＩＧＡ技术制作微细金属图形的原理及工艺过程，讨论了影响金属图形质量的因素，同时报导了国家同步辐射实验室用ＬＩＧＡ技术研究微细金属图形的结果。更多还原
