节点文献

光刻伺服盘检测

Etched Servo Disk Detecting

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 罗敢； 朱永红； 张江陵； 赫连娜；

【Author】 Luo Can Zhu Yonghong Zhang Jiangling He Lianna.

【机构】 华中理工大学；

【摘要】 光刻伺服盘系统作为新一代的磁盘伺服定位技术研究成功,通过检测实验,其质量已达到设计要求.

【Abstract】 As one king of new-generation magnetic disk servo position technology, the Etched Servo Disk System has been successfully researched. The detecting experiments proved that the quality satisfied our research purpose.

【关键词】 光刻伺服盘； 伺服定位；
【Key words】 etched servo disk； servo posistion；
【基金】 国家自然科学基金重点项目资助
  • 【文献出处】 武汉工业大学学报 , 编辑部邮箱 ,1996年01期
  • 【分类号】TP333.43
  • 【下载频次】9
打印本页
节点文献中：