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渗硅合金化45钢化学气相沉积金刚石膜新方法

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【作者】 高志栋； 陈志清； 曾效舒； 梁吉； 魏秉庆； 吴德海；

【机构】 清华大学；

【摘要】 渗硅合金化４５钢化学气相沉积金刚石膜新方法高志栋，陈志清，曾效舒，梁吉，魏秉庆，吴德海（清华大学）化学气相沉积（ＣＶＤ）金刚石膜的基底通常使用单晶硅。在钢基底上沉积一层金刚石膜，利用其优异的抗磨、化学稳定、绝缘、导热性能好等优点，应用将十分广阔。由于...

【关键词】 金刚石膜； 渗硅； 化学气相沉积； 陈志清； 钢基； 复合层； 梁吉； 抗磨； 含硅量； 保护气氛；
  • 【文献出处】 金属热处理学报 ,TRANSACTIONS OF METAL HEAT TREATMENT , 编辑部邮箱 ,1996年03期
  • 【分类号】TG156.83
  • 【被引频次】3
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