【作者】 郭小明; 周庭东; 白秀庭;
【机构】 清华大学电机工程系!北京100084;
【摘要】 对已建立的辉光放电等离子体理论模型进行了改进,改进后的理论模型仍为自洽的解析式理论模型.对稍长放电间隙,不同工作气压条件下的电子密度分布进行了分析,并与实验结果进行了对照,说明了改进后的理论模型适用范围得到了扩大,与实验结果更为接近.更多还原