【作者】 刘凤伟； 曹国琛；
【机构】 上海有色金属研究所； 上海有色金属研究所 松江 201600； 松江 201600；
【摘要】 硅片抛光是IC生产中的重要工序。为提高硅片和IC产品的质量,本文系统地介绍了HE系列新型高效抛光剂的制备方法、性能结构、抛光表面质量以及速率等,并探讨了抛光硅片的工艺技术。该技术经国内外几家大型专业厂生产线的实际应用,其效果良好。更多还原
