【作者】 邱法斌； 孙良彦； 全宝富； 张迎春； 蔡其宏； 杨勃；
【机构】 吉林大学电子科学系.!长春市130023； 深圳科意新技术有限公司；
【摘要】 <正>在气湿敏感技术领域中,自从W.H.King开创石英振子湿敏元件先河以来,经人们努力开拓,它在气湿敏感技术领域中已显示出广阔的应用前景.显然,由于它的工更多还原
