【作者】 汪建勋； 李春华； 孔繁华； 刘军波；
【机构】 秦皇岛玻璃工业研究设计院； 秦皇岛玻璃工业研究设计院 066001； 066001； 066001；
【摘要】 本文论述了多晶薄膜在玻璃基片上淀积的原理及主要影响因素,阐明了薄膜淀积的总速率是由玻璃基片的表面反应速率和反应剂分子扩散到玻璃表面的扩散速率决定的。硅烷浓度,玻璃板运动速率等因素也是重要影响参数。更多还原
