【作者】 李冀东； 施锦行； 佘思明；
【机构】 中南工业大学应用物理与热能工程系；
【摘要】 主要描述了扩展电阻探针在确定硅片电阻率的微区分布、硅片中施主态氧沉淀的微观分布，及经氧外扩散后，硅片表面区中间隙氧分布等方面的应用。更多还原
