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氮化物半导体的制备及其应用

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【作者】 施锦行；

【机构】 中南工业大学应用物理与热能工程系；

【摘要】 描述了氮化物半导体生长的一般特性以及某些重要的生长技术，指出氮化物半导体在微电子器件和光电子器件中的应用前景。

【关键词】 氮化物； 半导体； 晶体生长； 电子器件；
  • 【文献出处】 半导体技术 ,SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY , 编辑部邮箱 ,1996年03期
  • 【分类号】TN304.23
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