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提高MCVD金刚石薄膜成核密度的有效方法

AN EFFECTIVE METHOD FOR INCREASEEL NUCLEATION DENSITY OF MCVD DIAMOND THIN FILM

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【作者】 刘大军； 何金田； 王小平； 张兵临； 王建恩； 沈书泊；

【Author】 Liu dajun;He jintian ;Wang xiaoping;Zhang binglin ;Wang jianen ;Shen shubo(Henan fundamental and applied science research institute)

【机构】 河南省基础及应用研究所；

【摘要】 本文比较先在硅衬底上沉积无定形金刚石膜，然后再沉积金刚石膜，和直接在硅衬底上沉积金刚石膜的结果，前者成核密度大大提高，最后分析了提高成核密度的原因。

【Abstract】 Compare the result of deposited diamond film on amorphous diamond film sur’-face with silicon subxtrate.The nucleation density of diamond deposition on amorphous di-amond film was increased.analyse the reason of enhanced nucleation density of diamond film.

【关键词】 无定形金刚石膜； 金刚石膜； 成核密度；
【Key words】 ainorphous diamond film； diamond film； nucleation density；
【基金】 国家自然科学基金资助项目
  • 【文献出处】 郑州大学学报(自然科学版) ,JOURNAL OF ZHENGZHUOU UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE EDITION) , 编辑部邮箱 ,1995年04期
  • 【分类号】O484
  • 【被引频次】1
  • 【下载频次】37
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