【作者】 孙华英; 陈勇刚; 周旗钢; 任晓东; 谭伟时; 孙德林;
【机构】 北京有色金属研究总院;
【摘要】 为了满足对大直径p型探测器级硅单晶的需求,在原有小直径单晶工艺的基础上,采用线圈喷砂打毛、甩尾、保温提纯、快速成晶等技术,成功地拉制出Φ50、Φ62和Φ75的p型高阻硅单晶。用本区熔工艺拉制的单晶可做到无位错、无漩涡缺陷。对技术中涉及的有关机理进行了初步探讨。更多还原