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采用巴基管涂层化学气相沉积金刚石

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【作者】 王克忠； 高志栋； 李玉宝； 陈志清； 朱艳秋； 梁吉； 魏秉庆； 吴德海； 惠梦君；

【机构】 清华大学机械工程系； 中国科学院物理研究所 北京100084； 北京100084； 北京100080；

【摘要】 <正>关于热丝法气相沉积金刚石的研究已经进行了多年,迟滞这种工艺进一步发展的主要技术障碍是沉积速度低,如何提高热丝法沉积金刚石的速率,成为合成金刚石薄膜领域中的一个迫切需要解决的课题.富勒烯族分子(C60,C70,巴基管)均是由碳原子构成的大分子.近年来,在能够合成这些分子之后,它们即被用于合成金刚石的研究,但是以富勒烯族分子为涂层材料的化学气相

【关键词】 巴基管； 热丝法化学气相沉积； 金刚石；
  • 【文献出处】 科学通报 ,Chinese Science Bulletin , 编辑部邮箱 ,1995年07期
  • 【分类号】TQ164
  • 【被引频次】8
  • 【下载频次】30
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