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微电子用聚酰亚胺亚胺化峰

The Imidizing Peak of Polyimide Used in Microelectronics

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【作者】 应建华; 吴正元; 刘三清;

【Author】 Ying JianhuaDept of Solid-State Electronics,H,U.S.T.,Wuhan 430074,China.; Wu Zhengyuan; Liu Sanqing

【机构】 华中理工大学固体电子学系;

【摘要】 介绍了高分子聚合物聚酰亚胺的亚胺化原理和实用的方法,实验发现薄膜材料红外吸收峰800cm-1,的强弱与亚胺化程度有关;给出的判别与计量方法能确定材料的亚胺化程度。

【Abstract】 The principle and practical methods of imidization of polymer polyimide are described.Ithas been found by experiment that the strength of infrared absorption peak of the films atabout 800 cm-1 depends on the degree of imidization. Measuring methods for determining thedegree of imidization useful to industrial production of microelectronic devices and large-scaleintegrated circuits are given.

【关键词】 微电子学; 聚酰亚胺; 亚胺化; 吸收峰;
【Key words】 microelectronics; polyimide; imidization; absorption peak;
  • 【文献出处】 华中理工大学学报 , 编辑部邮箱 ,1995年03期
  • 【分类号】TN305
  • 【被引频次】11
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