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降低硅微机械加速度传感器横向灵敏度的方法

Methods for reducing Senssitivity of Micromachined Silicon Accelerometer

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【作者】 费龙； 钟先信； 温志渝； 刘桂雄； 高扬；

【Author】 Fei Long;Zhong Xianxin; Wen Zhiyu;Lin Guixiong and GaoYang (The Institute of Optoelectronic Machinary of Chongqing University,Chongqing 630044)

【机构】 国家教委光电技术及系统开放实验室；

【摘要】 本文分析了硅微机械加速度传感器横向灵敏度产生的原因，并介绍了降低它的方法。

【Abstract】 This paper analyses the cross sensitivity of miromachined silieon accelerometer.Methodsfor reducing sensitivity of micromachined silicon accelerometer are described.

【关键词】 横向灵敏度； 加速度传感器； 硅微；
【Key words】 Cross sensitivity； Accelerometer； Micromachined silicon；
【基金】 国家教委博士点基金
  • 【文献出处】 光学精密工程 ,OPTICS AND PRECISION ENGINEERING , 编辑部邮箱 ,1995年01期
  • 【分类号】TP212.12
  • 【被引频次】16
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