【作者】 励翠云; 彭瑞伍; 韦光宇; 徐晨梅;
【机构】 中国科学院上海冶金研究所;
【摘要】 应用LPE法成功地制出了Ga_(1-x)Al_xAs/GaAs多层结构材料,讨论了生长过程中铝、锗等元素的行为,测量了载流子浓度分布、少子扩散长度等电学性质,井观察了材料表面形貌。更多还原