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离子注入表面改性技术与腐蚀工程

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【作者】 邱艳玲； 梁成浩； 殷正安；

【机构】 大连理工大学化工学院； 大连理工大学化工学院 116012； 116012； 116012；

【摘要】 <正> 一、引言 离子注入表面改性是六十年代由多种学科交叉发展起来的一门新兴边缘技术。开始用于半导体集成电路的渗杂工艺,它可以独立地实现本体和表面的分别优化。 离子注入是将高能量的束流离子以高速射入固体材料表面,通过离子与材料表面的相互作用而改变材料表面的物理、化学及机

【关键词】 表面改性技术； 离子注入； 半导体集成电路； 腐蚀性能； 交叉发展； 耐蚀性； 耐磨性能； 抗高温氧化性能； 钝化膜； 单相固溶体；
  • 【文献出处】 化工腐蚀与防护 , 编辑部邮箱 ,1994年02期
  • 【分类号】TG174.444
  • 【被引频次】3
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