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金刚石膜的热导率特性研究

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【作者】 顾长志； 王春蕾； 金曾孙； 吕宪义； 邹广田； 张纪法； 方容川；

【机构】 吉林大学原子与分子物理研究所超硬材料国家重点实验室； 中国科学技术大学物理系； 中国科学技术大学物理系 长春130023； 长春130023； 合肥230026； 合肥230026；

【摘要】 <正>金刚石由于具有高硬度、高热导率、高红外透过率和优异的半导体特性,在高技术和未来的工业领域有广泛的应用前景.尤其是它的高热导率特性是最吸引人的一个研究领域,因为用金刚石制作的大功率半导体器件及微波器件的热沉将大大提高这些器件的性能.但是由于天然金刚石价格昂贵,潜在的市场并不广泛.而人工合成的金刚石膜由于成本低,并可制备成各种形状和尺寸的膜,作为散热材料的应用前景十分广阔.但是由于在制备金刚石膜的

【关键词】 热导率； 金刚石膜； EACVD；
  • 【文献出处】 科学通报 ,Chinese Science Bulletin , 编辑部邮箱 ,1994年07期
  • 【分类号】TB43
  • 【被引频次】3
  • 【下载频次】204
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