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W/Si,WSi2/Si和W/TiN纳米多层膜的成膜特性和热稳定性

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【作者】 刘文汉； 伍历文； 周凌云； 张裕恒； 许振嘉；

【机构】 中国科学技术大学基础物理中心； 中国科学技术大学基础物理中心； 结构分析开放实验室； 结构分析开放实验室 结构分析开放实验室； 合肥230026； 合肥230026 中国科学院半导体研究所； 北京100083；

【摘要】 <正>近20年来,同步辐射光源的迅速发展为软X射线波段提供了性能优良的光源.由于通常的光学反射、透射元件在软X射线波段不能使用,在紫外波段使用的光栅单色器和在X射线波段使用的晶体单色器也由于各自的结构、性质,在软X射线波段的使用受到限制.层厚为纳米量级轻/重元素层(或其他低/高电子密度层)组成的周期性多层膜在软X射线波段可以

【关键词】 多层膜； 软X射线； 热稳定性； 成膜特点；
【基金】 国家自然科学基金;中国科学技术大学结构分析开放实验室资助项目
  • 【文献出处】 科学通报 ,Chinese Science Bulletin , 编辑部邮箱 ,1994年07期
  • 【分类号】TB43
  • 【被引频次】2
  • 【下载频次】61
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