【作者】 任三平； 李益民； 赵峰；
【机构】 哈尔滨工业大学；
【摘要】 运用ＰＣ－ＸＴ微机控制电致伸缩微动工作台，实现了微动工作的匀速平移。其行程为４．５μｍ，最小步距为０．０３μｍ，运动速度在０．０３～０．１５μｍ／ｓ的范围内可凋。在４．５μｍ行程内，工作台水平位移量小于０．１μｍ。更多还原
