一种新型压电陶瓷驱动电路

【摘要】 一种新型压电陶瓷驱动电路浙江大学傅卫压电陶瓷作为一种精度高的工作台微动机构，是不少精密仪器所必不可少的。它利用加在其上面的电压。通过压电晶体的电致伸缩特性，产生与电压相应的形变，推动工作台移动。精度达几至几十纳米，形变总量一般可达几十微米。但它所需电...更多还原