【作者】 于军； 曾祥斌； 吴正元；
【机构】 华中理工大学固体电子学系；
【摘要】 介绍了采用射频反应工艺制备的ＡｌＮ薄膜对金属膜电阻器性能的影响，通过功率老化、高温贮存试验和电阻温度系数的测量，结果表明在陶瓷基体上淀积ＡｌＮ薄膜可以提高金属膜电阻器的可靠性。更多还原
