【作者】 周之斌; 张亚增; 翟林华; 方建勋; 王丽君;
【机构】 安徽师范大学物理系;
【摘要】 采用热丝法,甲醇、丙酮及氢气等离子体在硅衬底上沉积出金刚石薄膜,用透射电镜(TEM)及拉曼(Raman)谱分析膜中含有大小不等的金刚石颗粒,膜的厚度为50一100nm。C/Si异质结I-V曲线具有二极管整流特性,可耐高压,击穿场强达10 ̄7V/cm。更多还原